微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
2期
5-7,20
,共4页
李金儒%陈宝钦%汤跃科%薛丽君
李金儒%陳寶欽%湯躍科%薛麗君
리금유%진보흠%탕약과%설려군
微光刻图形%数据格式转换%挖空多边形%图形切割
微光刻圖形%數據格式轉換%挖空多邊形%圖形切割
미광각도형%수거격식전환%알공다변형%도형절할
给出了一种微光刻图形CIF格式的中间挖空多边形切割成PG3600格式所需矩形的新算法.首先,用水平扫描线把有内环的多边形切割成三角形或梯形;然后,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最后,把直角三角形用矩形包围或将其直接切割成矩形.本算法的优越性在于不需要先把挖空多边形切割成凸多边形后再进行切割,而是直接进行,对于三角形则采用了矩形包围拼接的方法,大大减少了切割出的矩形数据量.另外,本算法同样适用于没有内环的凸凹多边形的切割.
給齣瞭一種微光刻圖形CIF格式的中間挖空多邊形切割成PG3600格式所需矩形的新算法.首先,用水平掃描線把有內環的多邊形切割成三角形或梯形;然後,把三角形或梯形切割成矩形和直角三角形;最後,把直角三角形用矩形包圍或將其直接切割成矩形.本算法的優越性在于不需要先把挖空多邊形切割成凸多邊形後再進行切割,而是直接進行,對于三角形則採用瞭矩形包圍拼接的方法,大大減少瞭切割齣的矩形數據量.另外,本算法同樣適用于沒有內環的凸凹多邊形的切割.
급출료일충미광각도형CIF격식적중간알공다변형절할성PG3600격식소수구형적신산법.수선,용수평소묘선파유내배적다변형절할성삼각형혹제형;연후,파삼각형혹제형절할성구형화직각삼각형;최후,파직각삼각형용구형포위혹장기직접절할성구형.본산법적우월성재우불수요선파알공다변형절할성철다변형후재진행절할,이시직접진행,대우삼각형칙채용료구형포위병접적방법,대대감소료절할출적구형수거량.령외,본산법동양괄용우몰유내배적철요다변형적절할.