真空电子技术
真空電子技術
진공전자기술
VACUUM ELECTRONICS
2009年
3期
23-29
,共7页
罗海燕%黄光周%马国欣%朱建明%戴晋福
囉海燕%黃光週%馬國訢%硃建明%戴晉福
라해연%황광주%마국흔%주건명%대진복
减反膜%制备工艺%反射率%透射率
減反膜%製備工藝%反射率%透射率
감반막%제비공예%반사솔%투사솔
减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位,其研究依赖于制备工艺.本文结合近几年来国内外研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点,如真空蒸镀法、溅射镀法、溶胶一凝胶法等.并提出了相应的改进方法,分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景,为减反膜的制备提供了参考.
減反膜在現代光學薄膜生產中佔有十分重要的地位,其研究依賴于製備工藝.本文結閤近幾年來國內外研究現狀,敘述瞭幾種不同的減反膜製備方法,分析瞭各種製備方法的工藝特點以及各自的優缺點,如真空蒸鍍法、濺射鍍法、溶膠一凝膠法等.併提齣瞭相應的改進方法,分析瞭這些工藝在減反膜製備中的應用前景,為減反膜的製備提供瞭參攷.
감반막재현대광학박막생산중점유십분중요적지위,기연구의뢰우제비공예.본문결합근궤년래국내외연구현상,서술료궤충불동적감반막제비방법,분석료각충제비방법적공예특점이급각자적우결점,여진공증도법、천사도법、용효일응효법등.병제출료상응적개진방법,분석료저사공예재감반막제비중적응용전경,위감반막적제비제공료삼고.
