中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2010年
5期
898-902
,共5页
李杨超%张铭%董国波%赵学平%严辉
李楊超%張銘%董國波%趙學平%嚴輝
리양초%장명%동국파%조학평%엄휘
CuCrO2薄膜%CuCr1-xMgxO2薄膜%光学性能%光学带隙%室温电导率%激活能
CuCrO2薄膜%CuCr1-xMgxO2薄膜%光學性能%光學帶隙%室溫電導率%激活能
CuCrO2박막%CuCr1-xMgxO2박막%광학성능%광학대극%실온전도솔%격활능
采用射频磁控溅射方法,在石英衬底上制备Mg掺杂的CuCrO2 薄膜.通过XRD、紫外吸收光谱及电学性能的测量表征该系列薄膜样品的结构与光电性能.结果表明:退火处理后所有薄膜样品的结晶性良好,均为3R型铜铁矿结构;薄膜的电导率随掺杂量的增加而增大.当x=0.09时,样品的室温电导率可达6.16×10-2 S/cm,比未掺杂的CuCrO2提高近400倍,且霍耳测试表明所制备的薄膜为p型导电体.电导率随温度变化关系表明:薄膜样品在200～300 K的温度范围内均很好地符合Arrhenius热激活规律;当x=0.09时,最低激活能仅为0.034 eV.薄膜的可见光透过率与光学带隙宽度均随掺杂量的增加而减小.
採用射頻磁控濺射方法,在石英襯底上製備Mg摻雜的CuCrO2 薄膜.通過XRD、紫外吸收光譜及電學性能的測量錶徵該繫列薄膜樣品的結構與光電性能.結果錶明:退火處理後所有薄膜樣品的結晶性良好,均為3R型銅鐵礦結構;薄膜的電導率隨摻雜量的增加而增大.噹x=0.09時,樣品的室溫電導率可達6.16×10-2 S/cm,比未摻雜的CuCrO2提高近400倍,且霍耳測試錶明所製備的薄膜為p型導電體.電導率隨溫度變化關繫錶明:薄膜樣品在200～300 K的溫度範圍內均很好地符閤Arrhenius熱激活規律;噹x=0.09時,最低激活能僅為0.034 eV.薄膜的可見光透過率與光學帶隙寬度均隨摻雜量的增加而減小.
채용사빈자공천사방법,재석영츤저상제비Mg참잡적CuCrO2 박막.통과XRD、자외흡수광보급전학성능적측량표정해계렬박막양품적결구여광전성능.결과표명:퇴화처리후소유박막양품적결정성량호,균위3R형동철광결구;박막적전도솔수참잡량적증가이증대.당x=0.09시,양품적실온전도솔가체6.16×10-2 S/cm,비미참잡적CuCrO2제고근400배,차곽이측시표명소제비적박막위p형도전체.전도솔수온도변화관계표명:박막양품재200～300 K적온도범위내균흔호지부합Arrhenius열격활규률;당x=0.09시,최저격활능부위0.034 eV.박막적가견광투과솔여광학대극관도균수참잡량적증가이감소.
