物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2012年
5期
9-13
,共5页
磁致伸缩%TbDyFe薄膜%非晶%退火
磁緻伸縮%TbDyFe薄膜%非晶%退火
자치신축%TbDyFe박막%비정%퇴화
采用磁控溅射方法利用镶嵌靶材制备非晶TbDyFe薄膜,然后分别在150,300,450,550℃下退火,研究了热处理对TbDyFe薄膜性能的影响.结果显示,550℃温度下退火的样品出现RFe2相.随着退火温度的升高,晶粒逐渐长大,空洞网络变短而宽,薄膜的磁特性显示,其矫顽力及矩磁比均在出现RFe2相的550℃退火的样品中达到最大值.随着退火温度的增加,薄膜的易磁化轴从垂直膜面方向向平行膜面方向转动.
採用磁控濺射方法利用鑲嵌靶材製備非晶TbDyFe薄膜,然後分彆在150,300,450,550℃下退火,研究瞭熱處理對TbDyFe薄膜性能的影響.結果顯示,550℃溫度下退火的樣品齣現RFe2相.隨著退火溫度的升高,晶粒逐漸長大,空洞網絡變短而寬,薄膜的磁特性顯示,其矯頑力及矩磁比均在齣現RFe2相的550℃退火的樣品中達到最大值.隨著退火溫度的增加,薄膜的易磁化軸從垂直膜麵方嚮嚮平行膜麵方嚮轉動.
채용자공천사방법이용양감파재제비비정TbDyFe박막,연후분별재150,300,450,550℃하퇴화,연구료열처리대TbDyFe박막성능적영향.결과현시,550℃온도하퇴화적양품출현RFe2상.수착퇴화온도적승고,정립축점장대,공동망락변단이관,박막적자특성현시,기교완력급구자비균재출현RFe2상적550℃퇴화적양품중체도최대치.수착퇴화온도적증가,박막적역자화축종수직막면방향향평행막면방향전동.
