真空
真空
진공
VACUUM
2004年
4期
74-79
,共6页
磁力线走廊%磁阻力%横向磁约束%电子浓度分布
磁力線走廊%磁阻力%橫嚮磁約束%電子濃度分佈
자력선주랑%자조력%횡향자약속%전자농도분포
从更深层次--电子在非均匀电磁场中的运动规律,探讨了磁控溅射的更一般原理以及磁场的横向不均匀性及对称性是磁约束的本质原因.对工件温升、临界磁场、脱缚电子的能量及原因、刻蚀跑道断面形状的成因等作了分析.
從更深層次--電子在非均勻電磁場中的運動規律,探討瞭磁控濺射的更一般原理以及磁場的橫嚮不均勻性及對稱性是磁約束的本質原因.對工件溫升、臨界磁場、脫縳電子的能量及原因、刻蝕跑道斷麵形狀的成因等作瞭分析.
종경심층차--전자재비균균전자장중적운동규률,탐토료자공천사적경일반원리이급자장적횡향불균균성급대칭성시자약속적본질원인.대공건온승、림계자장、탈박전자적능량급원인、각식포도단면형상적성인등작료분석.
