测试技术学报
測試技術學報
측시기술학보
JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
2005年
2期
157-161
,共5页
干涉技术%波长移相%台阶测量%时域处理算法%频域处理算法
榦涉技術%波長移相%檯階測量%時域處理算法%頻域處理算法
간섭기술%파장이상%태계측량%시역처리산법%빈역처리산법
概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Carre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等.文中分析了这些算法在实际应用中需要考虑的技术问题,针对时频域算法特点,提出了基于时域傅立叶变换的差分算法.实验结果与分析证明这一算法的正确性和可行性.
概括瞭波長移相榦涉技術的特點,將基于波長移相榦涉技術的檯階測量算法分成兩類:時域算法和頻域算法.時域算法包括開瑞(Carre)算法和多波長組閤算法等,頻域算法包括基于時域傅立葉變換找基頻算法、塔可達(Takeda)算法等.文中分析瞭這些算法在實際應用中需要攷慮的技術問題,針對時頻域算法特點,提齣瞭基于時域傅立葉變換的差分算法.實驗結果與分析證明這一算法的正確性和可行性.
개괄료파장이상간섭기술적특점,장기우파장이상간섭기술적태계측량산법분성량류:시역산법화빈역산법.시역산법포괄개서(Carre)산법화다파장조합산법등,빈역산법포괄기우시역부립협변환조기빈산법、탑가체(Takeda)산법등.문중분석료저사산법재실제응용중수요고필적기술문제,침대시빈역산법특점,제출료기우시역부립협변환적차분산법.실험결과여분석증명저일산법적정학성화가행성.
