压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2006年
3期
360-362,366
,共4页
朱俊华%周兆英%杜桂彬%冯焱颖%林冬
硃俊華%週兆英%杜桂彬%馮焱穎%林鼕
주준화%주조영%두계빈%풍염영%림동
微电子机械系统(MEMS)%雾化给药%微喷%压电驱动
微電子機械繫統(MEMS)%霧化給藥%微噴%壓電驅動
미전자궤계계통(MEMS)%무화급약%미분%압전구동
介绍了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的阵列微喷的加工和实验结果.利用微细加工技术,在硅片上制作了上千个直径Φ5～20 μm的微喷孔阵列.该微喷以压电效应为驱动方式,通过压电片振动所产生的压力使液体从微喷孔中喷出.具有所产生的液滴直径和速度分布集中,无热效应的特点.采用激光相位-多普勒粒子分析(PDPA)系统对不同工作条件下液滴的直径和速度进行了研究.
介紹瞭一種基于微電子機械繫統(MEMS)技術的陣列微噴的加工和實驗結果.利用微細加工技術,在硅片上製作瞭上韆箇直徑Φ5～20 μm的微噴孔陣列.該微噴以壓電效應為驅動方式,通過壓電片振動所產生的壓力使液體從微噴孔中噴齣.具有所產生的液滴直徑和速度分佈集中,無熱效應的特點.採用激光相位-多普勒粒子分析(PDPA)繫統對不同工作條件下液滴的直徑和速度進行瞭研究.
개소료일충기우미전자궤계계통(MEMS)기술적진렬미분적가공화실험결과.이용미세가공기술,재규편상제작료상천개직경Φ5～20 μm적미분공진렬.해미분이압전효응위구동방식,통과압전편진동소산생적압력사액체종미분공중분출.구유소산생적액적직경화속도분포집중,무열효응적특점.채용격광상위-다보륵입자분석(PDPA)계통대불동공작조건하액적적직경화속도진행료연구.
