人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
2期
453-459
,共7页
王君%陈江涛%苗彬彬%闫鹏勋
王君%陳江濤%苗彬彬%閆鵬勛
왕군%진강도%묘빈빈%염붕훈
Cu3N薄膜%研究现状%应用
Cu3N薄膜%研究現狀%應用
Cu3N박막%연구현상%응용
Cu3N薄膜是近10年来研究的热点材料之一.Cu3N是立方反ReO3结构,理想立方反ReO3结构的一个晶胞中Cu原子占据立方边的中心位置而N原子占据立方晶胞的八个顶点,此结构的体心位置有一较大间隙,Cu原子以及其他原子如Pd、碱金属原子等很有可能进入此位置导致Cu3N的电学性能、光学性能等发生很大的变化,这使得该材料具有很大的潜在应用价值.Cu3N的晶格常数为0.3815nm,密度5.84g/cm3,分子量204.63,颜色呈黑绿色或红褐色,空间点群Pm3m.Cu3N薄膜在室温下相当稳定并且热分解温度较低(300℃左右),热分解前后薄膜的光学反射率有较大差别,这可使Cu3N薄膜用作一次性光记录材料.此外,Cu3N薄膜还可用作在Si片上沉积金属Cu线的缓冲层、低磁阻隧道结的阻挡层、自组装材料的模板等.
Cu3N薄膜是近10年來研究的熱點材料之一.Cu3N是立方反ReO3結構,理想立方反ReO3結構的一箇晶胞中Cu原子佔據立方邊的中心位置而N原子佔據立方晶胞的八箇頂點,此結構的體心位置有一較大間隙,Cu原子以及其他原子如Pd、堿金屬原子等很有可能進入此位置導緻Cu3N的電學性能、光學性能等髮生很大的變化,這使得該材料具有很大的潛在應用價值.Cu3N的晶格常數為0.3815nm,密度5.84g/cm3,分子量204.63,顏色呈黑綠色或紅褐色,空間點群Pm3m.Cu3N薄膜在室溫下相噹穩定併且熱分解溫度較低(300℃左右),熱分解前後薄膜的光學反射率有較大差彆,這可使Cu3N薄膜用作一次性光記錄材料.此外,Cu3N薄膜還可用作在Si片上沉積金屬Cu線的緩遲層、低磁阻隧道結的阻擋層、自組裝材料的模闆等.
Cu3N박막시근10년래연구적열점재료지일.Cu3N시립방반ReO3결구,이상립방반ReO3결구적일개정포중Cu원자점거립방변적중심위치이N원자점거립방정포적팔개정점,차결구적체심위치유일교대간극,Cu원자이급기타원자여Pd、감금속원자등흔유가능진입차위치도치Cu3N적전학성능、광학성능등발생흔대적변화,저사득해재료구유흔대적잠재응용개치.Cu3N적정격상수위0.3815nm,밀도5.84g/cm3,분자량204.63,안색정흑록색혹홍갈색,공간점군Pm3m.Cu3N박막재실온하상당은정병차열분해온도교저(300℃좌우),열분해전후박막적광학반사솔유교대차별,저가사Cu3N박막용작일차성광기록재료.차외,Cu3N박막환가용작재Si편상침적금속Cu선적완충층、저자조수도결적조당층、자조장재료적모판등.
