功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
4期
574-577
,共4页
邵起越%袁涛%李爱东%董岩%方峰%蒋建清%刘治国
邵起越%袁濤%李愛東%董巖%方峰%蔣建清%劉治國
소기월%원도%리애동%동암%방봉%장건청%류치국
无水硝酸盐%化学气相沉积(CVD)%高介电常数(high-k)栅介质
無水硝痠鹽%化學氣相沉積(CVD)%高介電常數(high-k)柵介質
무수초산염%화학기상침적(CVD)%고개전상수(high-k)책개질
通过一种简便可行的合成工艺,成功合成了3种具有良好挥发性的无碳前体:无水硝酸钛、硝酸锆和硝酸铪.以这些无水金属硝酸盐为前体,采用化学气相沉积(CVD)工艺成功淀积了具有良好介电性能的3种高介电常数(high-k)氧化物薄膜:TiO2、ZrO2和HfO2薄膜.这类不含碳的金属前体能直接在Si衬底上气相沉积,无需引入氧化气体,且沉积温度较低,可避免低介电常数界面层生成,在化学气相沉积栅介质薄膜方面独具优势.
通過一種簡便可行的閤成工藝,成功閤成瞭3種具有良好揮髮性的無碳前體:無水硝痠鈦、硝痠鋯和硝痠鉿.以這些無水金屬硝痠鹽為前體,採用化學氣相沉積(CVD)工藝成功澱積瞭具有良好介電性能的3種高介電常數(high-k)氧化物薄膜:TiO2、ZrO2和HfO2薄膜.這類不含碳的金屬前體能直接在Si襯底上氣相沉積,無需引入氧化氣體,且沉積溫度較低,可避免低介電常數界麵層生成,在化學氣相沉積柵介質薄膜方麵獨具優勢.
통과일충간편가행적합성공예,성공합성료3충구유량호휘발성적무탄전체:무수초산태、초산고화초산협.이저사무수금속초산염위전체,채용화학기상침적(CVD)공예성공정적료구유량호개전성능적3충고개전상수(high-k)양화물박막:TiO2、ZrO2화HfO2박막.저류불함탄적금속전체능직접재Si츤저상기상침적,무수인입양화기체,차침적온도교저,가피면저개전상수계면층생성,재화학기상침적책개질박막방면독구우세.
