光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2009年
9期
2294-2298
,共5页
李超%李雪%许金通%李向阳
李超%李雪%許金通%李嚮暘
리초%리설%허금통%리향양
GaN%透射光谱%光散射%消光系数
GaN%透射光譜%光散射%消光繫數
GaN%투사광보%광산사%소광계수
利用透射光谱矩阵光学原理,对三种GaN或AlGaN外延薄膜的透射光谱进行了分析.在传统的透射光谱拟合方法的基础上,添加了表征材料表面粗糙度、膜内散射情况的拟合参量,拟合曲线与实验曲线达到了准确的吻合.结果表明:外延薄膜透射光谱的拟合可以准确提取出材料的消光系数、表面状况、散射情况、折射率及厚度,从而对样品质量作出详细的分析.
利用透射光譜矩陣光學原理,對三種GaN或AlGaN外延薄膜的透射光譜進行瞭分析.在傳統的透射光譜擬閤方法的基礎上,添加瞭錶徵材料錶麵粗糙度、膜內散射情況的擬閤參量,擬閤麯線與實驗麯線達到瞭準確的吻閤.結果錶明:外延薄膜透射光譜的擬閤可以準確提取齣材料的消光繫數、錶麵狀況、散射情況、摺射率及厚度,從而對樣品質量作齣詳細的分析.
이용투사광보구진광학원리,대삼충GaN혹AlGaN외연박막적투사광보진행료분석.재전통적투사광보의합방법적기출상,첨가료표정재료표면조조도、막내산사정황적의합삼량,의합곡선여실험곡선체도료준학적문합.결과표명:외연박막투사광보적의합가이준학제취출재료적소광계수、표면상황、산사정황、절사솔급후도,종이대양품질량작출상세적분석.
