真空
真空
진공
VACUUM
2011年
2期
22-24
,共3页
曾富强%叶勤%张俊双%王权康%李仕萍
曾富彊%葉勤%張俊雙%王權康%李仕萍
증부강%협근%장준쌍%왕권강%리사평
二氧化钒薄膜%热氧化%磁控溅射%相变温度
二氧化釩薄膜%熱氧化%磁控濺射%相變溫度
이양화범박막%열양화%자공천사%상변온도
采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线衍射光电子能谱仪(XPS)分析氧化温度对薄膜的微观结构、光学透过率、相变温度及其组分的影响.结果表明:金属V膜在空气中400℃热氧化1 h得到相变温度约为50℃和热滞宽度约10%的二氧化钒薄膜.
採用直流磁控濺射在普通玻璃襯底上沉積金屬V膜,然後在空氣中熱氧化製備VO2薄膜.用X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、傅裏葉變換紅外光譜儀(FT-IR)和X射線衍射光電子能譜儀(XPS)分析氧化溫度對薄膜的微觀結構、光學透過率、相變溫度及其組分的影響.結果錶明:金屬V膜在空氣中400℃熱氧化1 h得到相變溫度約為50℃和熱滯寬度約10%的二氧化釩薄膜.
채용직류자공천사재보통파리츤저상침적금속V막,연후재공기중열양화제비VO2박막.용X사선연사의(XRD)、원자력현미경(AFM)、부리협변환홍외광보의(FT-IR)화X사선연사광전자능보의(XPS)분석양화온도대박막적미관결구、광학투과솔、상변온도급기조분적영향.결과표명:금속V막재공기중400℃열양화1 h득도상변온도약위50℃화열체관도약10%적이양화범박막.
