机电工程
機電工程
궤전공정
MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING MAGAZINE
2012年
2期
171-173,187
,共4页
赵文宏%周海军%宋闯%程城远%徐乐俊%袁巨龙
趙文宏%週海軍%宋闖%程城遠%徐樂俊%袁巨龍
조문굉%주해군%송틈%정성원%서악준%원거룡
步进电机%压力加载%数学建模
步進電機%壓力加載%數學建模
보진전궤%압력가재%수학건모
在晶体薄片的双面抛光加工中,实现抛光压力的精确、多模式控制对获得晶片高平面度和无损伤、超平滑的加工质量至关重要.为此,提出了一种基于步进电机的压力加载系统.在简述压力加载系统组成及原理的基础上,对该压力加载系统进行了整体数学建模,并通过Simulink对系统性能进行了仿真分析；最后对石英晶片进行了加工实验.实验结果初步验证了所设计的抛光压力加载系统可以较好地实现抛光压力的动态加载及平稳保持,并获得了平滑的晶片抛光表面.
在晶體薄片的雙麵拋光加工中,實現拋光壓力的精確、多模式控製對穫得晶片高平麵度和無損傷、超平滑的加工質量至關重要.為此,提齣瞭一種基于步進電機的壓力加載繫統.在簡述壓力加載繫統組成及原理的基礎上,對該壓力加載繫統進行瞭整體數學建模,併通過Simulink對繫統性能進行瞭倣真分析；最後對石英晶片進行瞭加工實驗.實驗結果初步驗證瞭所設計的拋光壓力加載繫統可以較好地實現拋光壓力的動態加載及平穩保持,併穫得瞭平滑的晶片拋光錶麵.
재정체박편적쌍면포광가공중,실현포광압력적정학、다모식공제대획득정편고평면도화무손상、초평활적가공질량지관중요.위차,제출료일충기우보진전궤적압력가재계통.재간술압력가재계통조성급원리적기출상,대해압력가재계통진행료정체수학건모,병통과Simulink대계통성능진행료방진분석；최후대석영정편진행료가공실험.실험결과초보험증료소설계적포광압력가재계통가이교호지실현포광압력적동태가재급평은보지,병획득료평활적정편포광표면.
