稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2003年
2期
148-150
,共3页
陈飞%张跃飞%潘俊德%唐宾%窦瑞芬%徐重
陳飛%張躍飛%潘俊德%唐賓%竇瑞芬%徐重
진비%장약비%반준덕%당빈%두서분%서중
Ti-6Al-4V%阴极溅射%渗镀钽
Ti-6Al-4V%陰極濺射%滲鍍鐽
Ti-6Al-4V%음겁천사%삼도단
设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金(Ti-6Al-4V)表面可形成纯Ta沉积层和合金扩散层的复合层组织,进一步提高了钛合金的 耐蚀性,是一种高耐蚀合金.
設計瞭一種網狀陰極濺射靶,它是由多箇空心陰極併列交扠組閤而成.結構簡單,濺射率高.將其用于雙層輝光離子滲鐽中,在鈦閤金(Ti-6Al-4V)錶麵可形成純Ta沉積層和閤金擴散層的複閤層組織,進一步提高瞭鈦閤金的 耐蝕性,是一種高耐蝕閤金.
설계료일충망상음겁천사파,타시유다개공심음겁병렬교차조합이성.결구간단,천사솔고.장기용우쌍층휘광리자삼단중,재태합금(Ti-6Al-4V)표면가형성순Ta침적층화합금확산층적복합층조직,진일보제고료태합금적 내식성,시일충고내식합금.
