哈尔滨工业大学学报
哈爾濱工業大學學報
합이빈공업대학학보
JOURNAL OF HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY
2006年
8期
1247-1250
,共4页
非球面%抛光%干涉检测%零补偿器%优化
非毬麵%拋光%榦涉檢測%零補償器%優化
비구면%포광%간섭검측%령보상기%우화
针对大口径离轴光学非球面反射镜的特殊工艺性,在合理设计零补偿器结构形式的基础上,综合考虑零补偿器各组件的误差参量做进一步优化.利用零补偿器实施非球面元件面形干涉检测过程中,着重分析调整误差对检验精度的影响,建立误差标定模型.以一块二次离轴非球面反射镜为实例进行了计算机模拟分析,得到对应不同调整误差的干涉图样,可以为快速地调整补偿器与被检元件之间相互位置提供参考,有助于获得指导加工的真实面形结果.
針對大口徑離軸光學非毬麵反射鏡的特殊工藝性,在閤理設計零補償器結構形式的基礎上,綜閤攷慮零補償器各組件的誤差參量做進一步優化.利用零補償器實施非毬麵元件麵形榦涉檢測過程中,著重分析調整誤差對檢驗精度的影響,建立誤差標定模型.以一塊二次離軸非毬麵反射鏡為實例進行瞭計算機模擬分析,得到對應不同調整誤差的榦涉圖樣,可以為快速地調整補償器與被檢元件之間相互位置提供參攷,有助于穫得指導加工的真實麵形結果.
침대대구경리축광학비구면반사경적특수공예성,재합리설계령보상기결구형식적기출상,종합고필령보상기각조건적오차삼량주진일보우화.이용령보상기실시비구면원건면형간섭검측과정중,착중분석조정오차대검험정도적영향,건립오차표정모형.이일괴이차리축비구면반사경위실례진행료계산궤모의분석,득도대응불동조정오차적간섭도양,가이위쾌속지조정보상기여피검원건지간상호위치제공삼고,유조우획득지도가공적진실면형결과.
