传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
3期
385-387
,共3页
杨涓涓%王聪%王金意%周嘉%蔡文斌%黄宜平
楊涓涓%王聰%王金意%週嘉%蔡文斌%黃宜平
양연연%왕총%왕금의%주가%채문빈%황의평
喷墨打印技术%沸石分子筛%DMMP%阻抗型传感器
噴墨打印技術%沸石分子篩%DMMP%阻抗型傳感器
분묵타인기술%비석분자사%DMMP%조항형전감기
利用喷墨打印技术沉积生物高分子溶液的方法,打印出金的梳状微电极的阵列图形,并采用NaX型沸石分子筛作为敏感膜,研制了探测神经类毒气沙林的相似物DMMP气体的阻抗型传感器.电极图形使用简单的绘图软件autoCAD画出,通过简单改进过的办公用喷墨打印机在金衬底上打印一层自组装膜的阻挡层,经过湿法刻蚀后得到了梳状微电极阵列.将制得的传感器对1 ppm(即1×10-6)DMMP气体进行检测,测得在0.01 Hz处,其电阻的相对变化值为10.7%.与传统MEMS工艺相比较,喷墨打印方法制备传感器具有工艺步骤简化,成本低,可在柔性等不同材料上制作等优点,有着广泛的应用前景.
利用噴墨打印技術沉積生物高分子溶液的方法,打印齣金的梳狀微電極的陣列圖形,併採用NaX型沸石分子篩作為敏感膜,研製瞭探測神經類毒氣沙林的相似物DMMP氣體的阻抗型傳感器.電極圖形使用簡單的繪圖軟件autoCAD畫齣,通過簡單改進過的辦公用噴墨打印機在金襯底上打印一層自組裝膜的阻擋層,經過濕法刻蝕後得到瞭梳狀微電極陣列.將製得的傳感器對1 ppm(即1×10-6)DMMP氣體進行檢測,測得在0.01 Hz處,其電阻的相對變化值為10.7%.與傳統MEMS工藝相比較,噴墨打印方法製備傳感器具有工藝步驟簡化,成本低,可在柔性等不同材料上製作等優點,有著廣汎的應用前景.
이용분묵타인기술침적생물고분자용액적방법,타인출금적소상미전겁적진렬도형,병채용NaX형비석분자사작위민감막,연제료탐측신경류독기사림적상사물DMMP기체적조항형전감기.전겁도형사용간단적회도연건autoCAD화출,통과간단개진과적판공용분묵타인궤재금츤저상타인일층자조장막적조당층,경과습법각식후득도료소상미전겁진렬.장제득적전감기대1 ppm(즉1×10-6)DMMP기체진행검측,측득재0.01 Hz처,기전조적상대변화치위10.7%.여전통MEMS공예상비교,분묵타인방법제비전감기구유공예보취간화,성본저,가재유성등불동재료상제작등우점,유착엄범적응용전경.
