红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2007年
z1期
54-58
,共5页
胡明%梁继然%吴淼%吕宇强%韩雷%刘志刚
鬍明%樑繼然%吳淼%呂宇彊%韓雷%劉誌剛
호명%량계연%오묘%려우강%한뢰%류지강
氧化钒%电阻温度系数%红外探测器
氧化釩%電阻溫度繫數%紅外探測器
양화범%전조온도계수%홍외탐측기
主要介绍了红外探测器的分类、发展,及基于氧化钒薄膜的热探测器的优势;采用直流对靶磁控溅射法制备氧化钒薄膜,通过设计正交实验,获得了氧化钒薄膜的最佳制备参数,分析了各个制备参数对氧化钒薄膜成分以及TCR的影响,研究了硅衬底上氧化钒薄膜电阻温度系数与电阻之间的关系.
主要介紹瞭紅外探測器的分類、髮展,及基于氧化釩薄膜的熱探測器的優勢;採用直流對靶磁控濺射法製備氧化釩薄膜,通過設計正交實驗,穫得瞭氧化釩薄膜的最佳製備參數,分析瞭各箇製備參數對氧化釩薄膜成分以及TCR的影響,研究瞭硅襯底上氧化釩薄膜電阻溫度繫數與電阻之間的關繫.
주요개소료홍외탐측기적분류、발전,급기우양화범박막적열탐측기적우세;채용직류대파자공천사법제비양화범박막,통과설계정교실험,획득료양화범박막적최가제비삼수,분석료각개제비삼수대양화범박막성분이급TCR적영향,연구료규츤저상양화범박막전조온도계수여전조지간적관계.
