南京大学学报（自然科学版）
南京大學學報（自然科學版）
남경대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2009年
2期
135-138
,共4页
薄膜%Pt%织构%X射线衍射
薄膜%Pt%織構%X射線衍射
박막%Pt%직구%X사선연사
本文利用X射线衍射技术表征了磁控溅射Pt薄膜的纤维织构.并给出了一种表征薄膜纤维织构的一般性方法.研究结果表明,利用X射线衍射的特殊扫描方式可以实现薄膜纤维织构的定量和定性表征.对于制备态Pt薄膜而言,织构漫散;400℃退火后,薄膜{111}型纤维织构变强,表明Pt薄膜的强{111}织构系退火时薄膜的再结晶所致.
本文利用X射線衍射技術錶徵瞭磁控濺射Pt薄膜的纖維織構.併給齣瞭一種錶徵薄膜纖維織構的一般性方法.研究結果錶明,利用X射線衍射的特殊掃描方式可以實現薄膜纖維織構的定量和定性錶徵.對于製備態Pt薄膜而言,織構漫散;400℃退火後,薄膜{111}型纖維織構變彊,錶明Pt薄膜的彊{111}織構繫退火時薄膜的再結晶所緻.
본문이용X사선연사기술표정료자공천사Pt박막적섬유직구.병급출료일충표정박막섬유직구적일반성방법.연구결과표명,이용X사선연사적특수소묘방식가이실현박막섬유직구적정량화정성표정.대우제비태Pt박막이언,직구만산;400℃퇴화후,박막{111}형섬유직구변강,표명Pt박막적강{111}직구계퇴화시박막적재결정소치.
