微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
6期
61-64
,共4页
碳纳米管%场电子发射%氧吸附
碳納米管%場電子髮射%氧吸附
탄납미관%장전자발사%양흡부
利用等离子体增强热丝化学气相沉积制备了多壁碳纳米管,并测试了它的场电子发射性能,发现碳纳米管的场电子发射性能在测量过程中发生了变化.利用X射线能谱仪对碳纳米管进行了表征,结果表明氧吸附在碳纳米管上.氧的吸附导致了碳纳米管的功函数发生了变化,造成碳纳米管场电子发射性能不稳定.同时,本工作还分析了氢的吸附可能对碳纳米管场电子性能的影响.因此,本工作对碳纳米管在微电子领域的应用有一定的意义.
利用等離子體增彊熱絲化學氣相沉積製備瞭多壁碳納米管,併測試瞭它的場電子髮射性能,髮現碳納米管的場電子髮射性能在測量過程中髮生瞭變化.利用X射線能譜儀對碳納米管進行瞭錶徵,結果錶明氧吸附在碳納米管上.氧的吸附導緻瞭碳納米管的功函數髮生瞭變化,造成碳納米管場電子髮射性能不穩定.同時,本工作還分析瞭氫的吸附可能對碳納米管場電子性能的影響.因此,本工作對碳納米管在微電子領域的應用有一定的意義.
이용등리자체증강열사화학기상침적제비료다벽탄납미관,병측시료타적장전자발사성능,발현탄납미관적장전자발사성능재측량과정중발생료변화.이용X사선능보의대탄납미관진행료표정,결과표명양흡부재탄납미관상.양적흡부도치료탄납미관적공함수발생료변화,조성탄납미관장전자발사성능불은정.동시,본공작환분석료경적흡부가능대탄납미관장전자성능적영향.인차,본공작대탄납미관재미전자영역적응용유일정적의의.
