四川理工学院学报（自然科学版）
四川理工學院學報（自然科學版）
사천리공학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY OF SCIENCE & ENGINEERING(NATURAL SCIENCE EDITION)
2010年
4期
491-493
,共3页
氢化锂薄膜%制备技术%表面粗糙度%脉冲激光气相沉积
氫化鋰薄膜%製備技術%錶麵粗糙度%脈遲激光氣相沉積
경화리박막%제비기술%표면조조도%맥충격광기상침적
纳米厚度、表面光滑的氢化锂薄膜的制备研究具有十分重要的意义.综述了氢化锂薄膜的制备方法:电阻蒸发法和磁控溅射法.比较研究后认为这两种制备方法制备的氢化锂薄膜,表面粗糙度高,不能达到软x射线多层膜的要求.而脉冲激光气相沉积法可以制备表面超光洁,厚度最小为几个纳米的薄膜,是制备表面光滑的薄膜的一种重要制备方法.
納米厚度、錶麵光滑的氫化鋰薄膜的製備研究具有十分重要的意義.綜述瞭氫化鋰薄膜的製備方法:電阻蒸髮法和磁控濺射法.比較研究後認為這兩種製備方法製備的氫化鋰薄膜,錶麵粗糙度高,不能達到軟x射線多層膜的要求.而脈遲激光氣相沉積法可以製備錶麵超光潔,厚度最小為幾箇納米的薄膜,是製備錶麵光滑的薄膜的一種重要製備方法.
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