宇航材料工艺
宇航材料工藝
우항재료공예
AEROSPACE MATERIALS & TECHNOLOGY
2010年
6期
74-77
,共4页
王肖烨%李言%李淑娟%肖强
王肖燁%李言%李淑娟%肖彊
왕초엽%리언%리숙연%초강
工件旋转%SiC单晶片%切向锯切力%表面粗糙度
工件鏇轉%SiC單晶片%切嚮鋸切力%錶麵粗糙度
공건선전%SiC단정편%절향거절력%표면조조도
通过旋转条件下切割SiC单晶片,分析了切片表面微观形貌特点,研究了线锯速度、工件进给速度和工件转速对切片表面粗糙度与切向锯切力的影响规律.结果表明:增加工件旋转,切片表面平整光滑,沿线锯运动方向没有明显沟槽及凸起,质量明显得到改善;当转速由0增加到12 r/min时,切片表面粗糙度由1.532 μm降到0.513μm;线锯速度和工件旋转速度增大、工件进给速度减小,切向锯切力减小,表面粗糙度减小.当线锯速度和工件旋转速度过大,切向锯切力和表面粗糙度反而会有所增加.
通過鏇轉條件下切割SiC單晶片,分析瞭切片錶麵微觀形貌特點,研究瞭線鋸速度、工件進給速度和工件轉速對切片錶麵粗糙度與切嚮鋸切力的影響規律.結果錶明:增加工件鏇轉,切片錶麵平整光滑,沿線鋸運動方嚮沒有明顯溝槽及凸起,質量明顯得到改善;噹轉速由0增加到12 r/min時,切片錶麵粗糙度由1.532 μm降到0.513μm;線鋸速度和工件鏇轉速度增大、工件進給速度減小,切嚮鋸切力減小,錶麵粗糙度減小.噹線鋸速度和工件鏇轉速度過大,切嚮鋸切力和錶麵粗糙度反而會有所增加.
통과선전조건하절할SiC단정편,분석료절편표면미관형모특점,연구료선거속도、공건진급속도화공건전속대절편표면조조도여절향거절력적영향규률.결과표명:증가공건선전,절편표면평정광활,연선거운동방향몰유명현구조급철기,질량명현득도개선;당전속유0증가도12 r/min시,절편표면조조도유1.532 μm강도0.513μm;선거속도화공건선전속도증대、공건진급속도감소,절향거절력감소,표면조조도감소.당선거속도화공건선전속도과대,절향거절력화표면조조도반이회유소증가.
