实验室研究与探索
實驗室研究與探索
실험실연구여탐색
LAABORATORY REESEARCH AND EXPLORATION
2011年
4期
6-8
,共3页
高洪明%刘强%龚恒翔%程新路
高洪明%劉彊%龔恆翔%程新路
고홍명%류강%공항상%정신로
超声雾化%氧化锌%X射线衍射
超聲霧化%氧化鋅%X射線衍射
초성무화%양화자%X사선연사
单源超声雾化室实验系统在制备掺杂薄膜时,由于制备前驱源溶液与掺杂溶液混合在同一个雾化室,几种不同的溶液之间相互影响,对制备高质量的掺杂薄膜非常不利;同时单源超声雾化室的沉积速度较慢,不利于向工业化方向转化;双源超声雾化室避免了在制备掺杂薄膜时掺杂溶液和源溶液混合而互相污染的弊病,从根本上解决了单源超声雾化热喷涂法制备掺杂薄膜存在的问题;同时衬底取向朝下,采用竖直向上的供料方式沉积薄膜,利用重力直接筛选大雾滴,沉积薄膜的雾滴粒径分布更加集中.
單源超聲霧化室實驗繫統在製備摻雜薄膜時,由于製備前驅源溶液與摻雜溶液混閤在同一箇霧化室,幾種不同的溶液之間相互影響,對製備高質量的摻雜薄膜非常不利;同時單源超聲霧化室的沉積速度較慢,不利于嚮工業化方嚮轉化;雙源超聲霧化室避免瞭在製備摻雜薄膜時摻雜溶液和源溶液混閤而互相汙染的弊病,從根本上解決瞭單源超聲霧化熱噴塗法製備摻雜薄膜存在的問題;同時襯底取嚮朝下,採用豎直嚮上的供料方式沉積薄膜,利用重力直接篩選大霧滴,沉積薄膜的霧滴粒徑分佈更加集中.
단원초성무화실실험계통재제비참잡박막시,유우제비전구원용액여참잡용액혼합재동일개무화실,궤충불동적용액지간상호영향,대제비고질량적참잡박막비상불리;동시단원초성무화실적침적속도교만,불리우향공업화방향전화;쌍원초성무화실피면료재제비참잡박막시참잡용액화원용액혼합이호상오염적폐병,종근본상해결료단원초성무화열분도법제비참잡박막존재적문제;동시츤저취향조하,채용수직향상적공료방식침적박막,이용중력직접사선대무적,침적박막적무적립경분포경가집중.
