真空
真空
진공
VACUUM
2002年
5期
24-26
,共3页
周团团%胡焕林%孙嵩泉%李万福
週糰糰%鬍煥林%孫嵩泉%李萬福
주단단%호환림%손숭천%리만복
离子束辅助沉积(IAD)%钼酸铅晶体%红外增透膜
離子束輔助沉積(IAD)%鉬痠鉛晶體%紅外增透膜
리자속보조침적(IAD)%목산연정체%홍외증투막
讨论了离子束辅助沉积技术在真空沉积过程中的应用原理.通过与常规的热蒸发工艺镀制的膜层相比较,证实了离子束辅助沉积技术有助于提高钼酸铅晶体表面红外增透膜的膜层品质及中心波长位置的精确度.
討論瞭離子束輔助沉積技術在真空沉積過程中的應用原理.通過與常規的熱蒸髮工藝鍍製的膜層相比較,證實瞭離子束輔助沉積技術有助于提高鉬痠鉛晶體錶麵紅外增透膜的膜層品質及中心波長位置的精確度.
토론료리자속보조침적기술재진공침적과정중적응용원리.통과여상규적열증발공예도제적막층상비교,증실료리자속보조침적기술유조우제고목산연정체표면홍외증투막적막층품질급중심파장위치적정학도.
