物理学报
物理學報
물이학보
2004年
8期
2694-2698
,共5页
徐大印%刘彦平%何志巍%方泽波%刘雪芹%王印月
徐大印%劉彥平%何誌巍%方澤波%劉雪芹%王印月
서대인%류언평%하지외%방택파%류설근%왕인월
碳化硅%光致发光%氧缺乏中心%多孔硅
碳化硅%光緻髮光%氧缺乏中心%多孔硅
탄화규%광치발광%양결핍중심%다공규
在多孔硅衬底上用射频溅射法沉积了非晶的SiC:Tb薄膜.对样品在N2中进行了不同温度的退火处理.用傅里叶红外变换谱分析了样品的结构.用荧光光谱仪测试了样品的光致发光,在紫外、可见光区域观测到了强的发光峰.发现随着衬底加热温度和样品退火温度的变化,发光峰有明显的强度变化和微弱的蓝移现象.分析了产生这种现象的机理,得出了紫外区域的发光峰是由于氧缺乏中心引起的,而可见区的发光是由于Tb离子产生的.
在多孔硅襯底上用射頻濺射法沉積瞭非晶的SiC:Tb薄膜.對樣品在N2中進行瞭不同溫度的退火處理.用傅裏葉紅外變換譜分析瞭樣品的結構.用熒光光譜儀測試瞭樣品的光緻髮光,在紫外、可見光區域觀測到瞭彊的髮光峰.髮現隨著襯底加熱溫度和樣品退火溫度的變化,髮光峰有明顯的彊度變化和微弱的藍移現象.分析瞭產生這種現象的機理,得齣瞭紫外區域的髮光峰是由于氧缺乏中心引起的,而可見區的髮光是由于Tb離子產生的.
재다공규츤저상용사빈천사법침적료비정적SiC:Tb박막.대양품재N2중진행료불동온도적퇴화처리.용부리협홍외변환보분석료양품적결구.용형광광보의측시료양품적광치발광,재자외、가견광구역관측도료강적발광봉.발현수착츤저가열온도화양품퇴화온도적변화,발광봉유명현적강도변화화미약적람이현상.분석료산생저충현상적궤리,득출료자외구역적발광봉시유우양결핍중심인기적,이가견구적발광시유우Tb리자산생적.
