激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2005年
2期
207-209,212
,共4页
叶震寰%楼祺洪%李红霞%董景星%魏运荣
葉震寰%樓祺洪%李紅霞%董景星%魏運榮
협진환%루기홍%리홍하%동경성%위운영
准分子激光%光束均匀%蝇眼%光刻
準分子激光%光束均勻%蠅眼%光刻
준분자격광%광속균균%승안%광각
由于放电结构及谐振腔的限制,准分子激光光斑呈现不均的分布.介绍了各种均匀器的工作原理,从衡量光束均匀性的各项指标出发,评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围.
由于放電結構及諧振腔的限製,準分子激光光斑呈現不均的分佈.介紹瞭各種均勻器的工作原理,從衡量光束均勻性的各項指標齣髮,評述分析瞭各種均勻方法的優缺點及適用範圍.
유우방전결구급해진강적한제,준분자격광광반정현불균적분포.개소료각충균균기적공작원리,종형량광속균균성적각항지표출발,평술분석료각충균균방법적우결점급괄용범위.
