物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2005年
9期
13-16
,共4页
杨平%冯贤平%施芸城%闫永辉
楊平%馮賢平%施蕓城%閆永輝
양평%풍현평%시예성%염영휘
氮化碳薄膜%直流空心阴极放电%XPS%拉曼光谱%红外吸收光谱
氮化碳薄膜%直流空心陰極放電%XPS%拉曼光譜%紅外吸收光譜
담화탄박막%직류공심음겁방전%XPS%랍만광보%홍외흡수광보
利用空心阴极放电等离子体源在Si(100)衬底上沉积了氮化碳薄膜. 用XRD,SEM,XPS及拉曼和红外吸收光谱对薄膜的结构、成分和化学键等进行了研究. XRD分析表明,制备的氮化碳薄膜为非晶结构. XPS分析证实了薄膜中以C-C,sp2CN和sp3CN键为主,并得出薄膜中的氮碳比为0.71,而sp3-CN相的含量也达到了0.39. 拉曼和红外吸收光谱的结果也与XPS分析的键态结果一致.
利用空心陰極放電等離子體源在Si(100)襯底上沉積瞭氮化碳薄膜. 用XRD,SEM,XPS及拉曼和紅外吸收光譜對薄膜的結構、成分和化學鍵等進行瞭研究. XRD分析錶明,製備的氮化碳薄膜為非晶結構. XPS分析證實瞭薄膜中以C-C,sp2CN和sp3CN鍵為主,併得齣薄膜中的氮碳比為0.71,而sp3-CN相的含量也達到瞭0.39. 拉曼和紅外吸收光譜的結果也與XPS分析的鍵態結果一緻.
이용공심음겁방전등리자체원재Si(100)츤저상침적료담화탄박막. 용XRD,SEM,XPS급랍만화홍외흡수광보대박막적결구、성분화화학건등진행료연구. XRD분석표명,제비적담화탄박막위비정결구. XPS분석증실료박막중이C-C,sp2CN화sp3CN건위주,병득출박막중적담탄비위0.71,이sp3-CN상적함량야체도료0.39. 랍만화홍외흡수광보적결과야여XPS분석적건태결과일치.
