高技术通讯
高技術通訊
고기술통신
HIGH TECHNOLOGY LETTERS
2006年
5期
479-484
,共6页
任亮%赵新%卢桂章%孙广毅
任亮%趙新%盧桂章%孫廣毅
임량%조신%로계장%손엄의
MEMS%专家系统%版图自动生成%工艺匹配
MEMS%專傢繫統%版圖自動生成%工藝匹配
MEMS%전가계통%판도자동생성%공예필배
根据MEMS工艺设计的特点提出了反馈式专家系统运作方式,并据此给出了MEMS版图自动生成与工艺匹配系统的体系结构.同虚拟MEMS加工工艺相比,该系统可实现工艺流水的逆向推理流程,由此,进一步给出了系统逆向推理所需的专家规则描述方式和推理机实现方法,并实现了一个原型系统,该系统可实现由两种标准MEMS工艺制作器件的版图自动生成与工艺匹配工作,初步验证了系统的可行性.
根據MEMS工藝設計的特點提齣瞭反饋式專傢繫統運作方式,併據此給齣瞭MEMS版圖自動生成與工藝匹配繫統的體繫結構.同虛擬MEMS加工工藝相比,該繫統可實現工藝流水的逆嚮推理流程,由此,進一步給齣瞭繫統逆嚮推理所需的專傢規則描述方式和推理機實現方法,併實現瞭一箇原型繫統,該繫統可實現由兩種標準MEMS工藝製作器件的版圖自動生成與工藝匹配工作,初步驗證瞭繫統的可行性.
근거MEMS공예설계적특점제출료반궤식전가계통운작방식,병거차급출료MEMS판도자동생성여공예필배계통적체계결구.동허의MEMS가공공예상비,해계통가실현공예류수적역향추리류정,유차,진일보급출료계통역향추리소수적전가규칙묘술방식화추리궤실현방법,병실현료일개원형계통,해계통가실현유량충표준MEMS공예제작기건적판도자동생성여공예필배공작,초보험증료계통적가행성.
