微计算机信息
微計算機信息
미계산궤신식
CONTROL & AUTOMATION
2007年
14期
214-216,247
,共4页
"叉指式"微加速度计%有限元分析%闭环检测
"扠指式"微加速度計%有限元分析%閉環檢測
"차지식"미가속도계%유한원분석%폐배검측
设计了一种"叉指式"微机械加速度计和相应的闭环检测电路,介绍了此微加速度计的加工工艺,并使用Ansys软件进行了模态分析和机械分析,仿真结果跟理论计算相吻合.最后对该闭环微加速度计进行了测试,得到的测量线性度为2.5%,刻度因子为3V/g.
設計瞭一種"扠指式"微機械加速度計和相應的閉環檢測電路,介紹瞭此微加速度計的加工工藝,併使用Ansys軟件進行瞭模態分析和機械分析,倣真結果跟理論計算相吻閤.最後對該閉環微加速度計進行瞭測試,得到的測量線性度為2.5%,刻度因子為3V/g.
설계료일충"차지식"미궤계가속도계화상응적폐배검측전로,개소료차미가속도계적가공공예,병사용Ansys연건진행료모태분석화궤계분석,방진결과근이론계산상문합.최후대해폐배미가속도계진행료측시,득도적측량선성도위2.5%,각도인자위3V/g.
