真空
真空
진공
VACUUM
2009年
2期
29-32
,共4页
徐均琪%李传志%严一心%刘衡平
徐均琪%李傳誌%嚴一心%劉衡平
서균기%리전지%엄일심%류형평
类金刚石膜%非平衡磁控溅射%钛掺杂%复合靶%热稳定性
類金剛石膜%非平衡磁控濺射%鈦摻雜%複閤靶%熱穩定性
류금강석막%비평형자공천사%태참잡%복합파%열은정성
利用非平衡磁控溅射复合靶技术制备了一系列掺钛的无氢类金刚石(Ti-DIE)薄膜,并对薄膜的热稳定性能、机械性能、应力分布以及表面形貌进行了研究.实验结果表明:退火处理对Ti-DIE膜的性能具有重要影响.随着热处理温度的升高,成膜晶粒逐渐细化,电阻率上升但至一定值后趋于稳定.退火温度的升高,会促使薄膜应力逐渐减小,硬度变低,但其耐火温度可以达到600℃以上而不发生石墨化,这一结果为DLC膜在高温环境下的应用提供了一定思路.
利用非平衡磁控濺射複閤靶技術製備瞭一繫列摻鈦的無氫類金剛石(Ti-DIE)薄膜,併對薄膜的熱穩定性能、機械性能、應力分佈以及錶麵形貌進行瞭研究.實驗結果錶明:退火處理對Ti-DIE膜的性能具有重要影響.隨著熱處理溫度的升高,成膜晶粒逐漸細化,電阻率上升但至一定值後趨于穩定.退火溫度的升高,會促使薄膜應力逐漸減小,硬度變低,但其耐火溫度可以達到600℃以上而不髮生石墨化,這一結果為DLC膜在高溫環境下的應用提供瞭一定思路.
이용비평형자공천사복합파기술제비료일계렬참태적무경류금강석(Ti-DIE)박막,병대박막적열은정성능、궤계성능、응력분포이급표면형모진행료연구.실험결과표명:퇴화처리대Ti-DIE막적성능구유중요영향.수착열처리온도적승고,성막정립축점세화,전조솔상승단지일정치후추우은정.퇴화온도적승고,회촉사박막응력축점감소,경도변저,단기내화온도가이체도600℃이상이불발생석묵화,저일결과위DLC막재고온배경하적응용제공료일정사로.
