中国计量学院学报
中國計量學院學報
중국계량학원학보
JOURNAL OF CHINA INSTITUTE OF METROLOGY
2009年
2期
118-121
,共4页
许素安%Luc Chassagne%Suat Topcu%Yasser Alayli%李东升
許素安%Luc Chassagne%Suat Topcu%Yasser Alayli%李東升
허소안%Luc Chassagne%Suat Topcu%Yasser Alayli%리동승
偏振干涉仪%锁相回路%纳米定位
偏振榦涉儀%鎖相迴路%納米定位
편진간섭의%쇄상회로%납미정위
详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长、重复性和分辨率做了详细的分析,在系统环境控制条件下适用于毫米行程位移,可应用于纳米计量和纳米加工.
詳細闡述瞭用于納米定位的偏振激光榦涉儀的原理,併介紹瞭基于該偏振儀的納米定位控製方法.該方法已由實驗論證,實驗位移繫統的最小步長實測值為5 nm.併對繫統的最小位移步長、重複性和分辨率做瞭詳細的分析,在繫統環境控製條件下適用于毫米行程位移,可應用于納米計量和納米加工.
상세천술료용우납미정위적편진격광간섭의적원리,병개소료기우해편진의적납미정위공제방법.해방법이유실험론증,실험위이계통적최소보장실측치위5 nm.병대계통적최소위이보장、중복성화분변솔주료상세적분석,재계통배경공제조건하괄용우호미행정위이,가응용우납미계량화납미가공.
