压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2010年
3期
417-419
,共3页
刘恒%朱玉田%刘钊%陈茂林
劉恆%硃玉田%劉釗%陳茂林
류항%주옥전%류쇠%진무림
光致弯曲%微执行器%微阀%微泵%微马达
光緻彎麯%微執行器%微閥%微泵%微馬達
광치만곡%미집행기%미벌%미빙%미마체
光致弯曲薄膜是一种可遥控供能的新型微执行器驱动元件.介绍了光致弯曲薄膜的驱动原理,综述了光致弯曲薄膜微执行器的开发和研究现状,重点介绍了光致弯曲薄膜微执行器在微液体控制系统和微马达中的应用,并对光致弯曲薄膜在微执行器中的应用进行了展望.
光緻彎麯薄膜是一種可遙控供能的新型微執行器驅動元件.介紹瞭光緻彎麯薄膜的驅動原理,綜述瞭光緻彎麯薄膜微執行器的開髮和研究現狀,重點介紹瞭光緻彎麯薄膜微執行器在微液體控製繫統和微馬達中的應用,併對光緻彎麯薄膜在微執行器中的應用進行瞭展望.
광치만곡박막시일충가요공공능적신형미집행기구동원건.개소료광치만곡박막적구동원리,종술료광치만곡박막미집행기적개발화연구현상,중점개소료광치만곡박막미집행기재미액체공제계통화미마체중적응용,병대광치만곡박막재미집행기중적응용진행료전망.
