宇航材料工艺
宇航材料工藝
우항재료공예
AEROSPACE MATERIALS & TECHNOLOGY
2010年
4期
5-9
,共5页
石亚平%高燕%孙承月%吴宜勇
石亞平%高燕%孫承月%吳宜勇
석아평%고연%손승월%오의용
连续离子层吸附反应法%超薄%功能膜%工艺参数
連續離子層吸附反應法%超薄%功能膜%工藝參數
련속리자층흡부반응법%초박%공능막%공예삼수
阐述了液相法中制备超薄功能膜的新方法--连续离子层吸附反应法(Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction, SILAR).探究了它的薄膜生长机理、工艺参数影响以及应用现状,指出了尚需深入研究的问题.
闡述瞭液相法中製備超薄功能膜的新方法--連續離子層吸附反應法(Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction, SILAR).探究瞭它的薄膜生長機理、工藝參數影響以及應用現狀,指齣瞭尚需深入研究的問題.
천술료액상법중제비초박공능막적신방법--련속리자층흡부반응법(Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction, SILAR).탐구료타적박막생장궤리、공예삼수영향이급응용현상,지출료상수심입연구적문제.
