厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2012年
1期
17-21
,共5页
张彬彬%李书平%李金钗%蔡端俊%陈航洋%刘达艺%康俊勇
張彬彬%李書平%李金釵%蔡耑俊%陳航洋%劉達藝%康俊勇
장빈빈%리서평%리금차%채단준%진항양%류체예%강준용
AlGaN%量子阱%欧姆接触%紫外LED
AlGaN%量子阱%歐姆接觸%紫外LED
AlGaN%양자정%구모접촉%자외LED
采用金属有机物气相外延(MOVPE)技术在c面蓝宝石衬底上,引入脉冲原子层外延技术,制备了一系列表面平整度较高的高Al组分AlGaN基异质结构外延片.并采用电子束金属蒸镀技术及优化热退火方法,获得了良好的欧姆接触电极,进一步将外延片制备成LED管芯.通过对量子结构有源层量子阱混晶组分的设计和调整,掌握并实现了主波长260～330 nm紫外LED结构材料的制备.
採用金屬有機物氣相外延(MOVPE)技術在c麵藍寶石襯底上,引入脈遲原子層外延技術,製備瞭一繫列錶麵平整度較高的高Al組分AlGaN基異質結構外延片.併採用電子束金屬蒸鍍技術及優化熱退火方法,穫得瞭良好的歐姆接觸電極,進一步將外延片製備成LED管芯.通過對量子結構有源層量子阱混晶組分的設計和調整,掌握併實現瞭主波長260～330 nm紫外LED結構材料的製備.
채용금속유궤물기상외연(MOVPE)기술재c면람보석츤저상,인입맥충원자층외연기술,제비료일계렬표면평정도교고적고Al조분AlGaN기이질결구외연편.병채용전자속금속증도기술급우화열퇴화방법,획득료량호적구모접촉전겁,진일보장외연편제비성LED관심.통과대양자결구유원층양자정혼정조분적설계화조정,장악병실현료주파장260～330 nm자외LED결구재료적제비.
