真空
真空
진공
VACUUM
2012年
3期
55-57
,共3页
王丽格%黄美东%杜珊%佟莉娜%刘野
王麗格%黃美東%杜珊%佟莉娜%劉野
왕려격%황미동%두산%동리나%류야
退火%磁控溅射%二氧化钛薄膜
退火%磁控濺射%二氧化鈦薄膜
퇴화%자공천사%이양화태박막
在常温下,采用射频反应磁控溅射方法在不同溅射功率下于K9双面抛光玻璃基底上制备二氧化钛薄膜.将制备的样品进行450℃退火6h热处理.利用X射线衍射仪(XRD)对比分析了退火前后薄膜的微观结构,采用光栅光谱仪测试了退火前后薄膜样品的透射谱.实验结果表明,退火前薄膜样品是非晶态,退火后薄膜晶化为晶态,但不同溅射功率下制备的薄膜结晶取向有差异；退火热处理对薄膜的折射率有一定影响,表现为退火前后透射谱偏移.
在常溫下,採用射頻反應磁控濺射方法在不同濺射功率下于K9雙麵拋光玻璃基底上製備二氧化鈦薄膜.將製備的樣品進行450℃退火6h熱處理.利用X射線衍射儀(XRD)對比分析瞭退火前後薄膜的微觀結構,採用光柵光譜儀測試瞭退火前後薄膜樣品的透射譜.實驗結果錶明,退火前薄膜樣品是非晶態,退火後薄膜晶化為晶態,但不同濺射功率下製備的薄膜結晶取嚮有差異；退火熱處理對薄膜的摺射率有一定影響,錶現為退火前後透射譜偏移.
재상온하,채용사빈반응자공천사방법재불동천사공솔하우K9쌍면포광파리기저상제비이양화태박막.장제비적양품진행450℃퇴화6h열처리.이용X사선연사의(XRD)대비분석료퇴화전후박막적미관결구,채용광책광보의측시료퇴화전후박막양품적투사보.실험결과표명,퇴화전박막양품시비정태,퇴화후박막정화위정태,단불동천사공솔하제비적박막결정취향유차이；퇴화열처리대박막적절사솔유일정영향,표현위퇴화전후투사보편이.
