GaN的声表面波特性研究
GaN적성표면파특성연구
Study of the Surface Acoustic Wave Properties of GaN
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2003年 2期 161-164 ,共4页

    严莉%陈晓阳%何世堂%李红浪%韩培德%陈振%陆大成%刘祥林%王晓晖%李昱峰%袁海荣%陆沅%黎大兵%朱勤生%王占国

    엄리%진효양%하세당%리홍랑%한배덕%진진%륙대성%류상림%왕효휘%리욱봉%원해영%륙원%려대병%주근생%왕점국

    GaN%声表面波速度%机电耦合系数 GaN%聲錶麵波速度%機電耦閤繫數
    GaN%성표면파속도%궤전우합계수
    采用金属有机物化学气相外延方法在(0001)面蓝宝石上生长了高质量、高阻的未掺杂(0001)面GaN薄膜.为精确测量GaN薄膜材料的声表面波特性,在GaN薄膜表面上沉积了金属叉指换能器,叉指换能器采用等叉指结构,叉指的数目为40对,叉指间距为15μm.采用脉冲法测量了声表面波在自由表面和金属表面上的速度,并通过计算得到了机电耦合系数(κ2).所测量的声表面波速度(v)为5 667m/s,机电耦合系数(κ2)为1.9%.
    채용금속유궤물화학기상외연방법재(0001)면람보석상생장료고질량、고조적미참잡(0001)면GaN박막.위정학측량GaN박막재료적성표면파특성,재GaN박막표면상침적료금속차지환능기,차지환능기채용등차지결구,차지적수목위40대,차지간거위15μm.채용맥충법측량료성표면파재자유표면화금속표면상적속도,병통과계산득도료궤전우합계수(κ2).소측량적성표면파속도(v)위5 667m/s,궤전우합계수(κ2)위1.9%.
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