真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
6期
415-419
,共5页
沈杰%沃松涛%蔡臻炜%崔晓莉%杨锡良%章壮健
瀋傑%沃鬆濤%蔡臻煒%崔曉莉%楊錫良%章壯健
침걸%옥송도%채진위%최효리%양석량%장장건
射频磁控共溅射%SiO2/TiO2复合薄膜%亲水性%光催化
射頻磁控共濺射%SiO2/TiO2複閤薄膜%親水性%光催化
사빈자공공천사%SiO2/TiO2복합박막%친수성%광최화
采用射频磁控共溅射法制备了SiO2/TiO2复合薄膜,通过控制SiO2靶与TiO2靶的溅射时间可调节SiO2与TiO2的比例.所制备的SiO2/TiO2薄膜为锐钛矿结构.实验结果表明:SiO2的掺入降低了SiO2/TiO2复合薄膜的光催化能力,但却提高了薄膜的亲水性的维持时间.其中,掺入6%～13%SiO2的SiO2/TiO2复合薄膜,在紫外光照射30 min,接触角降到2°;停止照射后,在5天内接触角小于6°.
採用射頻磁控共濺射法製備瞭SiO2/TiO2複閤薄膜,通過控製SiO2靶與TiO2靶的濺射時間可調節SiO2與TiO2的比例.所製備的SiO2/TiO2薄膜為銳鈦礦結構.實驗結果錶明:SiO2的摻入降低瞭SiO2/TiO2複閤薄膜的光催化能力,但卻提高瞭薄膜的親水性的維持時間.其中,摻入6%～13%SiO2的SiO2/TiO2複閤薄膜,在紫外光照射30 min,接觸角降到2°;停止照射後,在5天內接觸角小于6°.
채용사빈자공공천사법제비료SiO2/TiO2복합박막,통과공제SiO2파여TiO2파적천사시간가조절SiO2여TiO2적비례.소제비적SiO2/TiO2박막위예태광결구.실험결과표명:SiO2적참입강저료SiO2/TiO2복합박막적광최화능력,단각제고료박막적친수성적유지시간.기중,참입6%～13%SiO2적SiO2/TiO2복합박막,재자외광조사30 min,접촉각강도2°;정지조사후,재5천내접촉각소우6°.
