仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2004年
z1期
310-311
,共2页
闫卫平%朱剑波%马灵芝%郭吉洪
閆衛平%硃劍波%馬靈芝%郭吉洪
염위평%주검파%마령지%곽길홍
温度传感器%Cr金属薄膜%电阻温度系数
溫度傳感器%Cr金屬薄膜%電阻溫度繫數
온도전감기%Cr금속박막%전조온도계수
采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器.探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响.通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器.
採用等離子體濺射方法製備瞭Cr金屬薄膜式溫度傳感器.探討瞭光刻腐蝕工藝、Cr薄膜厚度及薄膜熱處理溫度對Cr薄膜電阻溫度繫數的影響.通過選擇閤適的製備工藝,得到瞭較理想的Cr金屬薄膜溫度傳感器.
채용등리자체천사방법제비료Cr금속박막식온도전감기.탐토료광각부식공예、Cr박막후도급박막열처리온도대Cr박막전조온도계수적영향.통과선택합괄적제비공예,득도료교이상적Cr금속박막온도전감기.
