光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2006年
6期
845-850
,共6页
激光技术%微位移测量%自混合干涉%误差分析
激光技術%微位移測量%自混閤榦涉%誤差分析
격광기술%미위이측량%자혼합간섭%오차분석
为了提高自混合干涉仪的位移测量精度,提出将正弦相位调制技术引入自混合干涉中.相位调制由置于自混合干涉仪外腔中的电光晶体实现,相位解调由傅里叶分析的方法得到.对位移测量过程中各种可能的误差来源如电光晶体调制不稳定性、光在外腔中的二次反馈效应等对测量精度的影响进行了模拟分析,从理论上得到了这种新的信号处理方法可以达到纳米级的测量精度.实验上,用高精度的商用压电陶瓷标定的结果验证了这种正弦相位调制自混合干涉仪在普通实验室噪声环境中可以达到纳米级的位移测量精度.
為瞭提高自混閤榦涉儀的位移測量精度,提齣將正絃相位調製技術引入自混閤榦涉中.相位調製由置于自混閤榦涉儀外腔中的電光晶體實現,相位解調由傅裏葉分析的方法得到.對位移測量過程中各種可能的誤差來源如電光晶體調製不穩定性、光在外腔中的二次反饋效應等對測量精度的影響進行瞭模擬分析,從理論上得到瞭這種新的信號處理方法可以達到納米級的測量精度.實驗上,用高精度的商用壓電陶瓷標定的結果驗證瞭這種正絃相位調製自混閤榦涉儀在普通實驗室譟聲環境中可以達到納米級的位移測量精度.
위료제고자혼합간섭의적위이측량정도,제출장정현상위조제기술인입자혼합간섭중.상위조제유치우자혼합간섭의외강중적전광정체실현,상위해조유부리협분석적방법득도.대위이측량과정중각충가능적오차래원여전광정체조제불은정성、광재외강중적이차반궤효응등대측량정도적영향진행료모의분석,종이론상득도료저충신적신호처리방법가이체도납미급적측량정도.실험상,용고정도적상용압전도자표정적결과험증료저충정현상위조제자혼합간섭의재보통실험실조성배경중가이체도납미급적위이측량정도.
