传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
2期
5-7,10
,共4页
氢氟酸%原电池腐蚀%HF蒸气腐蚀%纳米梁
氫氟痠%原電池腐蝕%HF蒸氣腐蝕%納米樑
경불산%원전지부식%HF증기부식%납미량
采用金电极的硅纳米梁在通过HF湿法腐蚀SiO2牺牲层释放结构的时候会发生硅纳米梁被腐蚀现象,消除此效应对于纳米尺度梁制造非常重要:通过电化学工作站测量不同条件下金/硅在HF中的极化曲线和腐蚀电流,从定性和定量研究此腐蚀的原理和影响因素:金硅在HF中形成的原电池效应是此腐蚀的主要原因;改变金硅面积比和改变HF构成可以减缓此腐蚀.设计了一种简单可控的HF蒸气腐蚀装置彻底消除原电池腐蚀效应的影响,并实现了120 nm厚双端固支纳米梁的无损释放.
採用金電極的硅納米樑在通過HF濕法腐蝕SiO2犧牲層釋放結構的時候會髮生硅納米樑被腐蝕現象,消除此效應對于納米呎度樑製造非常重要:通過電化學工作站測量不同條件下金/硅在HF中的極化麯線和腐蝕電流,從定性和定量研究此腐蝕的原理和影響因素:金硅在HF中形成的原電池效應是此腐蝕的主要原因;改變金硅麵積比和改變HF構成可以減緩此腐蝕.設計瞭一種簡單可控的HF蒸氣腐蝕裝置徹底消除原電池腐蝕效應的影響,併實現瞭120 nm厚雙耑固支納米樑的無損釋放.
채용금전겁적규납미량재통과HF습법부식SiO2희생층석방결구적시후회발생규납미량피부식현상,소제차효응대우납미척도량제조비상중요:통과전화학공작참측량불동조건하금/규재HF중적겁화곡선화부식전류,종정성화정량연구차부식적원리화영향인소:금규재HF중형성적원전지효응시차부식적주요원인;개변금규면적비화개변HF구성가이감완차부식.설계료일충간단가공적HF증기부식장치철저소제원전지부식효응적영향,병실현료120 nm후쌍단고지납미량적무손석방.
