材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2011年
3期
26-29
,共4页
铟锡氧化物%退火%喷雾造粒%靶材
銦錫氧化物%退火%噴霧造粒%靶材
인석양화물%퇴화%분무조립%파재
研究了铟锡氧化物(ITO)粉末退火后的组织和结构,比较了不同状态的粉末和制备工艺对ITO靶材的影响.结果表明,纳米ITO粉末在800℃以下具有体心立方In2O3结构,1100℃退火后由In2O3和SnO2两相组成;ITO粉末经过喷雾造粒后,形成了实心球形颗粒并具有合理的颗粒级配,通过气氛烧结可以制备出高密度优良的ITO靶材.
研究瞭銦錫氧化物(ITO)粉末退火後的組織和結構,比較瞭不同狀態的粉末和製備工藝對ITO靶材的影響.結果錶明,納米ITO粉末在800℃以下具有體心立方In2O3結構,1100℃退火後由In2O3和SnO2兩相組成;ITO粉末經過噴霧造粒後,形成瞭實心毬形顆粒併具有閤理的顆粒級配,通過氣氛燒結可以製備齣高密度優良的ITO靶材.
연구료인석양화물(ITO)분말퇴화후적조직화결구,비교료불동상태적분말화제비공예대ITO파재적영향.결과표명,납미ITO분말재800℃이하구유체심립방In2O3결구,1100℃퇴화후유In2O3화SnO2량상조성;ITO분말경과분무조립후,형성료실심구형과립병구유합리적과립급배,통과기분소결가이제비출고밀도우량적ITO파재.
