长春大学学报（自然科学版）
長春大學學報（自然科學版）
장춘대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY
2011年
3期
58-60
,共3页
金刚石膜%甲烷浓度%膜的质量
金剛石膜%甲烷濃度%膜的質量
금강석막%갑완농도%막적질량
采用微波PCVD系统进行了高品质透明金刚石膜的制备,在金刚石膜的沉积过程中,碳源浓度的变化直接影响着金刚石膜的生长和质量.用Raman,SEM等手段对金刚石膜的生长特性进行了表征.
採用微波PCVD繫統進行瞭高品質透明金剛石膜的製備,在金剛石膜的沉積過程中,碳源濃度的變化直接影響著金剛石膜的生長和質量.用Raman,SEM等手段對金剛石膜的生長特性進行瞭錶徵.
채용미파PCVD계통진행료고품질투명금강석막적제비,재금강석막적침적과정중,탄원농도적변화직접영향착금강석막적생장화질량.용Raman,SEM등수단대금강석막적생장특성진행료표정.
