CAJ | 학술논문

绝缘介质层是三极场致发射显示器的重要组成部分,本文通过丝网印刷技术与一次烧结和重复烧结两种烧结工艺制备不同膜厚的介质层,利用台阶仪和扫描电子显微镜分别对介质层膜厚和形貌进行表征,并对介质层的绝缘耐压性能进行了测试.结果表明,在重复烧结工艺下制备的膜厚约为34μm的介质层的耐压特性较好,电场强度达0.15 MV/cm,可耐压421 V,漏电流小,且重复性好,基本上可以满足后栅型FED栅极调控电压对介质层耐压性能的要求.同时在电场较弱时,介质层漏电流的输运符合欧姆输运机制；随着电场的升高,介质层漏电流的输运以Schottky发射机制为主,Frenkel-Poole发射机制对漏电流的影响很小.
절연개질층시삼겁장치발사현시기적중요조성부분,본문통과사망인쇄기술여일차소결화중복소결량충소결공예제비불동막후적개질층,이용태계의화소묘전자현미경분별대개질층막후화형모진행표정,병대개질층적절연내압성능진행료측시.결과표명,재중복소결공예하제비적막후약위34μm적개질층적내압특성교호,전장강도체0.15 MV/cm,가내압421 V,루전류소,차중복성호,기본상가이만족후책형FED책겁조공전압대개질층내압성능적요구.동시재전장교약시,개질층루전류적수운부합구모수운궤제；수착전장적승고,개질층루전류적수운이Schottky발사궤제위주,Frenkel-Poole발사궤제대루전류적영향흔소.