世界科技研究与发展
世界科技研究與髮展
세계과기연구여발전
WORLD SCI-TECH R & D
2011年
6期
1041-1044
,共4页
无线传感器网络%数据采集%半导体机台%SECS
無線傳感器網絡%數據採集%半導體機檯%SECS
무선전감기망락%수거채집%반도체궤태%SECS
为了监测半导体前段制造厂的机台在生产过程中的关键参数,提出了一种基于无线传感嚣网络和以太网的半导体机台数据采集方案,研制了传感器节点和簇头节点,给出了传感器节点的硬件设计过程和部分源程序测试结果表明:该系统可以对半导体机台关键生产参数进行远程采集、历史数据查询和故障实时报警,提高了半导体产品的良率以及工程师的工作效率.
為瞭鑑測半導體前段製造廠的機檯在生產過程中的關鍵參數,提齣瞭一種基于無線傳感囂網絡和以太網的半導體機檯數據採集方案,研製瞭傳感器節點和簇頭節點,給齣瞭傳感器節點的硬件設計過程和部分源程序測試結果錶明:該繫統可以對半導體機檯關鍵生產參數進行遠程採集、歷史數據查詢和故障實時報警,提高瞭半導體產品的良率以及工程師的工作效率.
위료감측반도체전단제조엄적궤태재생산과정중적관건삼수,제출료일충기우무선전감효망락화이태망적반도체궤태수거채집방안,연제료전감기절점화족두절점,급출료전감기절점적경건설계과정화부분원정서측시결과표명:해계통가이대반도체궤태관건생산삼수진행원정채집、역사수거사순화고장실시보경,제고료반도체산품적량솔이급공정사적공작효솔.
