材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
11期
25-29
,共5页
曹华伟%张程煜%乔生儒%曹晓雨
曹華偉%張程煜%喬生儒%曹曉雨
조화위%장정욱%교생유%조효우
TiAlN涂层%制备方法%晶体结构%硬度%高温抗氧化性
TiAlN塗層%製備方法%晶體結構%硬度%高溫抗氧化性
TiAlN도층%제비방법%정체결구%경도%고온항양화성
概述了物理气相沉积TiAlN涂层的研究现状及发展趋势,详细分析了制备方法、Al含量、N2流量、基体偏压、温度以及其他元素对TiAlN涂层的涂层结构、硬度、高温抗氧化性和耐腐蚀性等性能的影响.目前制备的TiAlN涂层存在残余应力较大、表面液滴数量较多和涂层致密度差等问题.为进一步促进TiAlN涂层的应用,今后还需探索该涂层的制备方法,优化其制备工艺.多元纳米复合涂层和超点阵多层涂层是两个具有潜力的发展方向.
概述瞭物理氣相沉積TiAlN塗層的研究現狀及髮展趨勢,詳細分析瞭製備方法、Al含量、N2流量、基體偏壓、溫度以及其他元素對TiAlN塗層的塗層結構、硬度、高溫抗氧化性和耐腐蝕性等性能的影響.目前製備的TiAlN塗層存在殘餘應力較大、錶麵液滴數量較多和塗層緻密度差等問題.為進一步促進TiAlN塗層的應用,今後還需探索該塗層的製備方法,優化其製備工藝.多元納米複閤塗層和超點陣多層塗層是兩箇具有潛力的髮展方嚮.
개술료물리기상침적TiAlN도층적연구현상급발전추세,상세분석료제비방법、Al함량、N2류량、기체편압、온도이급기타원소대TiAlN도층적도층결구、경도、고온항양화성화내부식성등성능적영향.목전제비적TiAlN도층존재잔여응력교대、표면액적수량교다화도층치밀도차등문제.위진일보촉진TiAlN도층적응용,금후환수탐색해도층적제비방법,우화기제비공예.다원납미복합도층화초점진다층도층시량개구유잠력적발전방향.
