黑龙江科技信息
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흑룡강과기신식
HEILONGJIANG SCIENCE AND TECHNOLOGY INFORMATION
2011年
6期
10
,共1页
划片%湿度%管芯%电特性
劃片%濕度%管芯%電特性
화편%습도%관심%전특성
硅片经过划片工艺后被分离为成千上万只独立管芯,在实际生产中器件的反向电特性异常,出现了反向漏电流向上漂移现象,通过试验采用低温烘焙得到了电特性合格的管芯.分析了在相对湿度偏大的生产环境中,容易使管芯表面吸潮引起反向漏电流增大,而使管芯电特性失效.
硅片經過劃片工藝後被分離為成韆上萬隻獨立管芯,在實際生產中器件的反嚮電特性異常,齣現瞭反嚮漏電流嚮上漂移現象,通過試驗採用低溫烘焙得到瞭電特性閤格的管芯.分析瞭在相對濕度偏大的生產環境中,容易使管芯錶麵吸潮引起反嚮漏電流增大,而使管芯電特性失效.
규편경과화편공예후피분리위성천상만지독립관심,재실제생산중기건적반향전특성이상,출현료반향루전류향상표이현상,통과시험채용저온홍배득도료전특성합격적관심.분석료재상대습도편대적생산배경중,용역사관심표면흡조인기반향루전류증대,이사관심전특성실효.
