材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2010年
16期
18-20,34
,共4页
刘越峰%郑海务%马兴平%王超%张华荣%顾玉宗
劉越峰%鄭海務%馬興平%王超%張華榮%顧玉宗
류월봉%정해무%마흥평%왕초%장화영%고옥종
六方YMnO3%薄膜%Si(111)%择优生长%电滞回线
六方YMnO3%薄膜%Si(111)%擇優生長%電滯迴線
륙방YMnO3%박막%Si(111)%택우생장%전체회선
采用化学溶液法在Si(111)衬底上制备了YMnO3薄膜.XRD结果表明,所制备的薄膜为六方纯相YMnO3,且具有部分择优取向生长.以Pt为顶电极,测试了YMnO3薄膜的电滞回线,结果表明,所制备的YMnO3薄膜具有良好的铁电性质.
採用化學溶液法在Si(111)襯底上製備瞭YMnO3薄膜.XRD結果錶明,所製備的薄膜為六方純相YMnO3,且具有部分擇優取嚮生長.以Pt為頂電極,測試瞭YMnO3薄膜的電滯迴線,結果錶明,所製備的YMnO3薄膜具有良好的鐵電性質.
채용화학용액법재Si(111)츤저상제비료YMnO3박막.XRD결과표명,소제비적박막위륙방순상YMnO3,차구유부분택우취향생장.이Pt위정전겁,측시료YMnO3박막적전체회선,결과표명,소제비적YMnO3박막구유량호적철전성질.
