电子技术
電子技術
전자기술
ELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
10期
80-81
,共2页
微光机电系统%薄膜%自组装技术%应变驱动
微光機電繫統%薄膜%自組裝技術%應變驅動
미광궤전계통%박막%자조장기술%응변구동
微光机电系统(MOEMS)是当今技术领域的研究热点之一,无论在军事和商业领域都有广泛的应用.当前MOEMS的制作主要利用二维平面技术,由于二维平面制作技术已经接近物理极限,进一步在二维平面上提高器件密度的难度变得越来越大,充分利用三维空间提高器件的密度有很多优点.本文介绍一种利用品格失配的外延层自组装制作三维微纳米结构的方法,利用这种办法可以很方便地制作三维微纳米元件,并且在同一个衬底上进行自组装.
微光機電繫統(MOEMS)是噹今技術領域的研究熱點之一,無論在軍事和商業領域都有廣汎的應用.噹前MOEMS的製作主要利用二維平麵技術,由于二維平麵製作技術已經接近物理極限,進一步在二維平麵上提高器件密度的難度變得越來越大,充分利用三維空間提高器件的密度有很多優點.本文介紹一種利用品格失配的外延層自組裝製作三維微納米結構的方法,利用這種辦法可以很方便地製作三維微納米元件,併且在同一箇襯底上進行自組裝.
미광궤전계통(MOEMS)시당금기술영역적연구열점지일,무론재군사화상업영역도유엄범적응용.당전MOEMS적제작주요이용이유평면기술,유우이유평면제작기술이경접근물리겁한,진일보재이유평면상제고기건밀도적난도변득월래월대,충분이용삼유공간제고기건적밀도유흔다우점.본문개소일충이용품격실배적외연층자조장제작삼유미납미결구적방법,이용저충판법가이흔방편지제작삼유미납미원건,병차재동일개츤저상진행자조장.
