光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2009年
6期
1719-1723
,共5页
张清华%杨伟%马红菊%马平%许乔
張清華%楊偉%馬紅菊%馬平%許喬
장청화%양위%마홍국%마평%허교
薄膜光学%含氟硅氧烷%溶胶-凝胶%减反膜%二氧化硅%稳定性
薄膜光學%含氟硅氧烷%溶膠-凝膠%減反膜%二氧化硅%穩定性
박막광학%함불규양완%용효-응효%감반막%이양화규%은정성
二氧化硅减反膜的结构疏松,且胶粒表面存在大量羟基,膜层极易吸附环境中的水分和有机蒸气,透射比稳定性较低.为了改善原有减反膜的环境稳定性,以3,3,3-三氟丙基三甲氧基硅烷和3,3,3-三氟丙基甲基二乙氧基硅烷为掺杂剂,正硅酸乙酯为前躯体,采用溶胶-凝胶法制备了两个系列的SiO2减反膜.结果表明,含氟硅氧烷改性的系列膜层的疏水性能均得到显著增强.CF3-CH2-CH2-Si或CF3-CH2-CH2-Si-CH3质量分数在0.40%～1.5%的范围内时,二氧化硅膜层的减反效果较好.掺入含氟硅氧烷在一定质量分数时,膜层的抗激光损伤性能受到的影响不大.10-3Pa高真空环境的实验表明,膜层的稳定性有较大提高,含氟硅氧烷改性延长了减反膜的使用寿命.
二氧化硅減反膜的結構疏鬆,且膠粒錶麵存在大量羥基,膜層極易吸附環境中的水分和有機蒸氣,透射比穩定性較低.為瞭改善原有減反膜的環境穩定性,以3,3,3-三氟丙基三甲氧基硅烷和3,3,3-三氟丙基甲基二乙氧基硅烷為摻雜劑,正硅痠乙酯為前軀體,採用溶膠-凝膠法製備瞭兩箇繫列的SiO2減反膜.結果錶明,含氟硅氧烷改性的繫列膜層的疏水性能均得到顯著增彊.CF3-CH2-CH2-Si或CF3-CH2-CH2-Si-CH3質量分數在0.40%～1.5%的範圍內時,二氧化硅膜層的減反效果較好.摻入含氟硅氧烷在一定質量分數時,膜層的抗激光損傷性能受到的影響不大.10-3Pa高真空環境的實驗錶明,膜層的穩定性有較大提高,含氟硅氧烷改性延長瞭減反膜的使用壽命.
이양화규감반막적결구소송,차효립표면존재대량간기,막층겁역흡부배경중적수분화유궤증기,투사비은정성교저.위료개선원유감반막적배경은정성,이3,3,3-삼불병기삼갑양기규완화3,3,3-삼불병기갑기이을양기규완위참잡제,정규산을지위전구체,채용용효-응효법제비료량개계렬적SiO2감반막.결과표명,함불규양완개성적계렬막층적소수성능균득도현저증강.CF3-CH2-CH2-Si혹CF3-CH2-CH2-Si-CH3질량분수재0.40%～1.5%적범위내시,이양화규막층적감반효과교호.참입함불규양완재일정질량분수시,막층적항격광손상성능수도적영향불대.10-3Pa고진공배경적실험표명,막층적은정성유교대제고,함불규양완개성연장료감반막적사용수명.
