微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
4期
50-52,61
,共4页
高超群%李全宝%刘茂哲%景玉鹏
高超群%李全寶%劉茂哲%景玉鵬
고초군%리전보%류무철%경옥붕
超临界流体%二氧化碳超临界清洗%表面张力%牺牲层释放
超臨界流體%二氧化碳超臨界清洗%錶麵張力%犧牲層釋放
초림계류체%이양화탄초림계청세%표면장력%희생층석방
半导体IC清洗技术由于水溶液的表面张力大而无法进入硅片上器件的狭缝与电路线条间隙中进行清洗,同时不易干燥,且干燥时会造成二次污染,从而使得整个工艺耗水量大且清洗效果不佳.以超临界流体为媒体的清洗技术是克服以上缺点的最佳途径.提出并研制了一种绿色二氧化碳超临界清洗设备,它利用超流体二氧化碳来进行硅片的清洗和无张力的超临界干燥,而且该设备还可以对微细结构进行无粘连的牺牲层释放.设备的成本低,二氧化碳使用量少,并且可以循环使用,属于绿色无污染的新型半导体清洗设备.
半導體IC清洗技術由于水溶液的錶麵張力大而無法進入硅片上器件的狹縫與電路線條間隙中進行清洗,同時不易榦燥,且榦燥時會造成二次汙染,從而使得整箇工藝耗水量大且清洗效果不佳.以超臨界流體為媒體的清洗技術是剋服以上缺點的最佳途徑.提齣併研製瞭一種綠色二氧化碳超臨界清洗設備,它利用超流體二氧化碳來進行硅片的清洗和無張力的超臨界榦燥,而且該設備還可以對微細結構進行無粘連的犧牲層釋放.設備的成本低,二氧化碳使用量少,併且可以循環使用,屬于綠色無汙染的新型半導體清洗設備.
반도체IC청세기술유우수용액적표면장력대이무법진입규편상기건적협봉여전로선조간극중진행청세,동시불역간조,차간조시회조성이차오염,종이사득정개공예모수량대차청세효과불가.이초림계류체위매체적청세기술시극복이상결점적최가도경.제출병연제료일충록색이양화탄초림계청세설비,타이용초류체이양화탄래진행규편적청세화무장력적초림계간조,이차해설비환가이대미세결구진행무점련적희생층석방.설비적성본저,이양화탄사용량소,병차가이순배사용,속우록색무오염적신형반도체청세설비.
