内江科技
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내강과기
NEI JIANG KE JI
2008年
11期
100,147
,共2页
双色滤光片%光刻剥离%聚酰亚胺
雙色濾光片%光刻剝離%聚酰亞胺
쌍색려광편%광각박리%취선아알
文中利用聚酰亚胺高聚物的耐温性和高粘度性,巧妙地和光刻胶结合,解决了厚膜镀制中光刻胶炭化难以剥离的问题;利用聚酰亚胺在碱性显影液中有很好的可溶性,优化了光刻胶和聚酰亚胺的厚度比,得到了好的工艺参数和易于剥离的面形,解决了小图形光刺剥离的难题.
文中利用聚酰亞胺高聚物的耐溫性和高粘度性,巧妙地和光刻膠結閤,解決瞭厚膜鍍製中光刻膠炭化難以剝離的問題;利用聚酰亞胺在堿性顯影液中有很好的可溶性,優化瞭光刻膠和聚酰亞胺的厚度比,得到瞭好的工藝參數和易于剝離的麵形,解決瞭小圖形光刺剝離的難題.
문중이용취선아알고취물적내온성화고점도성,교묘지화광각효결합,해결료후막도제중광각효탄화난이박리적문제;이용취선아알재감성현영액중유흔호적가용성,우화료광각효화취선아알적후도비,득도료호적공예삼수화역우박리적면형,해결료소도형광자박리적난제.
