中国集成电路
中國集成電路
중국집성전로
CHINA INTEGRATED CIRCUIT
2006年
1期
65-70
,共6页
本文应用比例差分(PDO,Proportional Difference Operator)技术提出了一种新的表征微尺度MOS器件负偏置温度不稳定性(Negative Bias Temperature Instability,NBTI)的实验方法.和传统方法相比,这种新方法可以避免恢复效应对NBTI表征的影响.使用该方法,本文研究了不同直流应力电压和应力温度对NBTI退化的影响.
本文應用比例差分(PDO,Proportional Difference Operator)技術提齣瞭一種新的錶徵微呎度MOS器件負偏置溫度不穩定性(Negative Bias Temperature Instability,NBTI)的實驗方法.和傳統方法相比,這種新方法可以避免恢複效應對NBTI錶徵的影響.使用該方法,本文研究瞭不同直流應力電壓和應力溫度對NBTI退化的影響.
본문응용비례차분(PDO,Proportional Difference Operator)기술제출료일충신적표정미척도MOS기건부편치온도불은정성(Negative Bias Temperature Instability,NBTI)적실험방법.화전통방법상비,저충신방법가이피면회복효응대NBTI표정적영향.사용해방법,본문연구료불동직류응력전압화응력온도대NBTI퇴화적영향.
